Sekondêre terugvoerlugskema vir lugversorgingstelsel

Die mikro-elektroniese werkswinkel met 'n relatief klein skoonkamerarea en beperkte radius van die terugvoerlugkanaal word gebruik om die sekondêre terugvoerlugskema van die lugversorgingstelsel aan te neem. Hierdie skema word ook algemeen gebruik inskoon kamersin ander nywerhede soos farmaseutiese produkte en mediese sorg. Omdat die ventilasievolume om aan die vereistes van skoonkamertemperatuur-humiditeit te voldoen, oor die algemeen baie minder is as die ventilasievolume wat benodig word om die skoonheidsvlak te bereik, is die temperatuurverskil tussen die toevoerlug en die terugvoerlug klein. As die primêre terugvoerlugskema gebruik word, is die temperatuurverskil tussen die toevoerlugtoestandpunt en die doupunt van die lugversorgingseenheid groot, en sekondêre verhitting is nodig, wat lei tot die koue hitteverrekening in die lugbehandelingsproses en meer energieverbruik. As die sekondêre terugvoerlugskema gebruik word, kan die sekondêre terugvoerlug gebruik word om die sekondêre verhitting van die primêre terugvoerlugskema te vervang. Alhoewel die aanpassing van die primêre en sekondêre terugvoerlugverhouding effens minder sensitief is as die aanpassing van die sekondêre hitte, word die sekondêre terugvoerlugskema wyd erken as 'n lugversorging-energiebesparende maatreël in klein en mediumgrootte mikro-elektroniese skoonwerkswinkels.

Neem 'n ISO klas 6 mikro-elektronika skoon werkswinkel as voorbeeld, die skoon werkswinkelarea van 1 000 m2, die plafonhoogte van 3 m. Binne-ontwerpparameters is temperatuur tn = (23 ± 1) ℃, relatiewe humiditeit φn = 50% ± 5%; Die ontwerp lugtoevoervolume is 171 000 m3/h, ongeveer 57 h-1 luguitruiltye, en die vars lugvolume is 25 500 m3/h (waarvan die prosesuitlaatlugvolume 21 000 m3/h is, en die res is positiewe druk lekkasie lugvolume). Die voelbare hittelas in die skoon werkswinkel is 258 kW (258 W/m2), die hitte/humiditeitsverhouding van die lugversorger is ε = 35 000 kJ/kg, en die temperatuurverskil van die kamer se terugvoerlug is 4,5 ℃. Op hierdie tydstip is die primêre terugvoerlugvolume van
Dit is tans die mees gebruikte vorm van suiwering-lugversorgingstelsel in die mikro-elektronika-industrie se skoonkamer. Hierdie tipe stelsel kan hoofsaaklik in drie tipes verdeel word: AHU+FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (droë spoel) +FFU. Elkeen het sy voor- en nadele en geskikte plekke. Die energiebesparende effek hang hoofsaaklik af van die werkverrigting van die filter, waaier en ander toerusting.

1) AHU+FFU-stelsel.

Hierdie tipe stelselmodus word in die mikro-elektronika-industrie gebruik as "die manier om lugversorging en suiweringsfase te skei". Daar kan twee situasies wees: een is dat die lugversorgingstelsel slegs vars lug hanteer, en die behandelde vars lug dra al die hitte- en humiditeitslading van die skoonkamer en dien as 'n aanvullende lug om die uitlaatlug en positiewe druklekkasie van die skoonkamer te balanseer. Hierdie stelsel word ook die MAU+FFU-stelsel genoem; die ander is dat die vars lugvolume alleen nie genoeg is om aan die koue- en hittelasbehoeftes van die skoonkamer te voldoen nie, of omdat die vars lug van die buitetoestand na die doupunt-spesifieke entalpieverskil van die vereiste masjien verwerk word, te groot is, en 'n deel van die binnenshuise lug (gelykstaande aan 'n terugvoerlug) word na die lugversorgingsbehandelingseenheid teruggevoer, gemeng met die vars lug vir hitte- en humiditeitsbehandeling, en dan na die lugtoevoerplenum gestuur. Gemeng met die oorblywende skoonkamer-terugvoerlug (gelykstaande aan sekondêre terugvoerlug), gaan dit die FFU-eenheid binne en stuur dit dan na die skoonkamer. Van 1992 tot 1994 het die tweede outeur van hierdie artikel met 'n Singapoerse maatskappy saamgewerk en meer as 10 nagraadse studente gelei om deel te neem aan die ontwerp van die VSA-Hong Kong gesamentlike onderneming SAE Electronics Factory, wat laasgenoemde soort suiweringslugversorging- en ventilasiestelsel aangeneem het. Die projek het 'n ISO Klas 5 skoonkamer van ongeveer 6 000 m2 (waarvan 1 500 m2 deur die Japan Atmospheric Agency gekontrakteer is). Die lugversorgingskamer is parallel met die skoonkamerkant langs die buitemuur en slegs langs die gang gerangskik. Die vars lug-, uitlaat- en terugvoerlugpype is kort en glad gerangskik.

2) MAU+AHU+FFU-skema.

Hierdie oplossing word algemeen gevind in mikro-elektroniese aanlegte met veelvuldige temperatuur- en humiditeitsvereistes en groot verskille in hitte- en humiditeitslading, en die skoonheidsvlak is ook hoog. In die somer word die vars lug afgekoel en ontvogtig tot 'n vaste parameterpunt. Dit is gewoonlik gepas om die vars lug te behandel tot by die snypunt van die isometriese entalpielyn en die 95% relatiewe humiditeitslyn van die skoonkamer met verteenwoordigende temperatuur en humiditeit of die skoonkamer met die grootste varslugvolume. Die lugvolume van MAU word bepaal volgens die behoeftes van elke skoonkamer om die lug aan te vul, en word versprei na die AHU van elke skoonkamer met pype volgens die vereiste varslugvolume, en word gemeng met 'n bietjie binnenshuise terugvoerlug vir hitte- en humiditeitsbehandeling. Hierdie eenheid dra al die hitte- en humiditeitslading en 'n deel van die nuwe rumatieklas van die skoonkamer wat dit bedien. Die lug wat deur elke AHU behandel word, word na die toevoerlugplenum in elke skoonkamer gestuur, en na sekondêre vermenging met die binnenshuise terugvoerlug, word dit deur die FFU-eenheid in die kamer gestuur.

Die grootste voordeel van die MAU+AHU+FFU-oplossing is dat dit benewens die versekering van netheid en positiewe druk ook die verskillende temperature en relatiewe humiditeit verseker wat benodig word vir die produksie van elke skoonkamerproses. As gevolg van die aantal AHU-opstellings, neem die kameroppervlakte egter dikwels groot op, die skoonkamer se vars lug, terugvoerlug en lugtoevoerpype kruis en dwars, neem 'n groot ruimte op, die uitleg is meer problematies, die onderhoud en bestuur is moeiliker en kompleks, daarom is daar geen spesiale vereistes om die gebruik sover moontlik te vermy nie.