Sekondêre terugkeerlugskema vir lugversorgingstelsel

Die mikro-elektroniese werkswinkel met relatief klein skoonkamerarea en beperkte radius van terugvoerlugkanaal wat gebruik word om die sekondêre terugkeerlugskema van lugversorgingstelsel aan te neem. Hierdie skema word ook algemeen gebruik inskoon kamersin ander bedrywe soos farmaseutiese produkte en mediese sorg. Omdat die ventilasievolume om aan die vereistes van skoon kamertemperatuur humiditeit te voldoen, oor die algemeen baie minder is as die ventilasievolume wat benodig word om die skoonheidsvlak te bereik, is die temperatuurverskil tussen die toevoerlug en die terugvoerlug dus klein. As die primêre terugvoerlugskema gebruik word, is die temperatuurverskil tussen die toevoerlugtoestandpunt en die doupunt van die lugversorgingseenheid groot, sekondêre verhitting is nodig, wat lei tot die koue hitte-verskuiwing in die lugbehandelingsproses en meer energieverbruik . Indien die sekondêre retourlugskema gebruik word, kan die sekondêre retourlug skema gebruik word om die sekondêre verwarming van die primêre retourlugskema te vervang. Alhoewel die aanpassing van die primêre en sekondêre retourlugverhouding effens minder sensitief is as die aanpassing van die sekondêre hitte, is die sekondêre retourlugskema wyd erken as 'n lugversorgingsenergiebesparingsmaatreël in klein en mediumgrootte mikro-elektroniese skoon werkswinkels .

Neem 'n ISO klas 6 mikro-elektronika skoon werkswinkel as 'n voorbeeld, die skoon werkswinkel area van 1 000 m2, die plafon hoogte van 3 m. Binne-ontwerp parameters is temperatuur tn= (23±1) ℃, relatiewe humiditeit φn=50%±5%; Die ontwerp lugtoevoervolume is 171 000 m3/h, ongeveer 57 h-1 luguitruiltye, en die vars lugvolume is 25 500 m3/h (waarvan die proses-uitlaatlugvolume 21 000 m3/h is, en die res is positiewe druk lekkasie lugvolume). Die aanvoelbare hittelading in die skoon werkswinkel is 258 kW (258 W/m2), die hitte/humiditeitsverhouding van die lugversorger is ε=35 000 kJ/kg, en die temperatuurverskil van die vertrek se terugvoerlug is 4,5 ℃. Op hierdie tydstip, die primêre terugkeer lug volume van
Dit is tans die mees gebruikte vorm van suiwering lugversorgingstelsel in die mikro-elektroniese industrie skoon kamer, hierdie tipe stelsel kan hoofsaaklik in drie tipes verdeel word: AHU+FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (droë spoel) +FFU. Elkeen het sy voor- en nadele en geskikte plekke, die energiebesparende effek hang hoofsaaklik af van die werkverrigting van die filter en waaier en ander toerusting.

1) AHU+FFU-stelsel.

Hierdie tipe stelselmodus word in die mikro-elektroniese industrie gebruik as "die manier om lugversorging en suiweringsfase te skei". Daar kan twee situasies wees: een is dat die lugversorgingstelsel net met vars lug handel, en die behandelde vars lug dra al die hitte- en humiditeitslading van die skoon kamer en dien as 'n aanvulling lug om die uitlaatlug en positiewe druk lekkasie te balanseer van die skoonkamer word hierdie stelsel ook MAU+FFU-stelsel genoem; Die ander is dat die vars lugvolume alleen nie genoeg is om aan die koue- en hitteladingsbehoeftes van die skoon kamer te voldoen nie, of omdat die vars lug vanaf die buitetoestand verwerk word tot die doupunt spesifieke entalpieverskil van die vereiste masjien is te groot , en 'n deel van die binnenshuise lug (gelykstaande aan 'n terugvoerlug) word na die lugversorgingsbehandelingseenheid teruggestuur, met die vars lug gemeng vir hitte- en humiditeitsbehandeling, en dan na die lugtoevoerplenum gestuur. Vermeng met die oorblywende skoonkamer-retourlug (gelykstaande aan sekondêre retourlug), gaan dit die FFU-eenheid binne en stuur dit dan na die skoon kamer. Van 1992 tot 1994 het die tweede skrywer van hierdie artikel met 'n Singapoerse maatskappy saamgewerk en meer as 10 gegradueerde studente gelei om deel te neem aan die ontwerp van die VSA-Hongkong gesamentlike onderneming SAE Electronics Factory, wat laasgenoemde soort suiweringslugversorging en ventilasiestelsel. Die projek het 'n ISO Klas 5-skoonkamer van ongeveer 6 000 m2 (waarvan 1 500 m2 deur die Japanse Atmosferiese Agentskap gekontrakteer is). Die lugversorgingskamer is parallel aan die skoonkamerkant langs die buitemuur gerangskik, en slegs langs die gang. Die varslug-, uitlaatlug- en teruglugpype is kort en glad gerangskik.

2) MAU+AHU+FFU-skema.

Hierdie oplossing word algemeen gevind in mikro-elektroniese aanlegte met veelvuldige temperatuur- en humiditeitvereistes en groot verskille in hitte- en humiditeitslading, en die skoonheidsvlak is ook hoog. In die somer word die vars lug afgekoel en ontvochtig tot 'n vaste parameterpunt. Dit is gewoonlik gepas om die vars lug te behandel tot by die snypunt van die isometriese entalpielyn en die 95% relatiewe humiditeitslyn van die skoon kamer met verteenwoordigende temperatuur en humiditeit of die skoon kamer met die grootste vars lugvolume. Die lugvolume van MAU word bepaal volgens die behoeftes van elke skoon kamer om die lug aan te vul, en word versprei na die AHU van elke skoon kamer met pype volgens die vereiste vars lugvolume, en word gemeng met 'n bietjie binnenshuise retourlug vir hitte en humiditeitsbehandeling. Hierdie eenheid dra al die hitte- en humiditeitslading en 'n deel van die nuwe rumatieklading van die skoon kamer wat dit bedien. Die lug wat deur elke AHU behandel word, word na die toevoerlugplenum in elke skoon kamer gestuur, en na sekondêre vermenging met die binnenshuise retourlug word dit deur die FFU-eenheid die kamer ingestuur.

Die belangrikste voordeel van die MAU+AHU+FFU-oplossing is dat dit benewens om netheid en positiewe druk te verseker ook die verskillende temperature en relatiewe humiditeit wat benodig word vir die produksie van elke skoonkamerproses verseker. Maar dikwels as gevolg van die aantal AHU opgestel, beset die kamer area is groot, die skoon kamer vars lug, terugkeer lug, lug toevoer pypleidings kruis, beslaan 'n groot ruimte, die uitleg is meer lastig, onderhoud en bestuur is moeiliker en kompleks, dus geen spesiale vereistes so ver as moontlik om die gebruik te vermy nie.