Die teikenwaarde van relatiewe humiditeit in 'n halfgeleier (FAB) skoon kamer

Die teikenwaarde van relatiewe humiditeit in 'n halfgeleier (FAB) skoon kamer is ongeveer 30 tot 50%, wat 'n smal foutmarge van ±1% toelaat, soos in die litografiesone – of selfs minder in die ver ultravioletverwerking (DUV) sone – terwyl dit elders tot ±5% verslap kan word.
Omdat relatiewe humiditeit 'n reeks faktore het wat die algehele prestasie van skoon kamers kan verminder, insluitend:
1. Bakteriese groei;
2. Kamertemperatuur geriefsreeks vir personeel;
3. Elektrostatiese lading verskyn;
4. Metaalkorrosie;
5. Waterdampkondensasie;
6. Degradasie van litografie;
7. Waterabsorpsie.

Bakterieë en ander biologiese kontaminante (skimmels, virusse, swamme, myte) kan floreer in omgewings met 'n relatiewe humiditeit van meer as 60%. Sommige bakteriese gemeenskappe kan teen 'n relatiewe humiditeit van meer as 30% groei. Die maatskappy glo dat humiditeit in die reeks van 40% tot 60% beheer moet word, wat die impak van bakterieë en respiratoriese infeksies kan verminder.

Relatiewe humiditeit in die reeks van 40% tot 60% is ook 'n matige reeks vir menslike gemak. Te veel humiditeit kan mense bedompig laat voel, terwyl humiditeit onder 30% mense droë, gebarste vel, respiratoriese ongemak en emosionele ongelukkigheid kan laat voel.

Die hoë humiditeit verminder eintlik die ophoping van elektrostatiese ladings op die skoonkameroppervlak - 'n gewenste resultaat. Lae humiditeit is ideaal vir ladingophoping en 'n potensieel skadelike bron van elektrostatiese ontlading. Wanneer die relatiewe humiditeit 50% oorskry, begin die elektrostatiese ladings vinnig verdwyn, maar wanneer die relatiewe humiditeit minder as 30% is, kan dit vir 'n lang tyd op 'n isolator of 'n ongegronde oppervlak aanhou.

Relatiewe humiditeit tussen 35% en 40% kan as 'n bevredigende kompromie gebruik word, en halfgeleierskoonkamers gebruik gewoonlik bykomende kontroles om die ophoping van elektrostatiese ladings te beperk.

Die spoed van baie chemiese reaksies, insluitend korrosieprosesse, sal toeneem met die toename in relatiewe humiditeit. Alle oppervlaktes wat aan die lug rondom die skoon kamer blootgestel word, is vinnig.